脈沖激光沉積、分子束外延薄膜制備系統

薄膜制備*

BlueWave是家著名的美國半導體設備、材料生產商。BlueWave提供多種薄膜制備系統，包括脈沖激光沉積(PLD)、電子束蒸發、熱蒸發、反應濺射、熱絲化學氣相沉積(HFCVD)、熱化學氣相沉積系統(TCVD)。這些系統是理想的薄膜與涂層合成設備?？芍苽涞谋∧ぐǖ?、氧化物、多層膜、鉆石、石墨烯、碳納米管、2D材料。Blue Wave還提供相關系統配件，例如基片加熱裝置、原位監測工具。此外，BlueWave還為您提供標準的薄膜以及材料涂層，例如氧化物涂層、導電薄膜、無定型或納米晶Si/SiC、晶體AlN-GaN、聚合物、納米鉆石、HFCVD鉆石涂層以及器件加工。

1、脈沖激光沉積系統

產品點：

2、物理氣相沉積系統（Physical Vapor Deposition Plus）

產品點 •超高真空不銹鋼腔體 •電子束、熱蒸發、脈沖激光沉積可集成 •立襯底加熱，可旋轉 •多量程氣體流量控制器 •標準氣壓計

•機械、分子、冷凝真空泵 可選不銹鋼快速進樣室 •襯底和源距離可控 •可用于金屬氧化物、氮化物、碳化物、金屬薄膜

3、熱化學氣相沉積系統（TCVD）

4、熱絲化學氣相沉積系統（HFCVD）

產品點： •水冷不銹鋼超高真空腔 •熱絲易安裝、更換  •4個不同量程氣體控制器 •標準氣壓計 •襯底與熱絲距離可調節 •2英寸襯底加熱、可旋轉  •*制備金剛石和石墨烯

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