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SEM-CL時間分辨精細陰熒光分析系統是由瑞士attolight公司設計并制造的,它是: ?上*實現定量測量的陰熒光分析系統 SEM-CL ? 300um直徑的視場 ? 于10nm的空間分辨率 ? 10ps的時間分辨率 ? Schottky場發射槍(連續系統)和皮秒脈沖光電槍(時間分辨模式) ? 樣品溫度范圍:20K-300K,位移精度1nm
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