靈活多變的濺射、蒸發一體化臺式設備——nanoPVD ST15A

     近年來，隨著量子材料研究的興起對薄膜制備方法的需求更加的多樣化，而傳統的薄膜制備設備往往只有一種薄膜制備功能，制備一個樣品就需要先后在不同的設備中進行操作，并且容易對樣品的性質造成破壞，也需要更多的科研經費投入。英國Moorfield Nanotechnology公司立足于多種成熟的薄膜制備設備，并長期收集用戶的需求并對產品線進行不斷的優化豐富，以滿足各種個性化的實驗需求。針對目前日趨多樣化的需求，Moorfield Nanotechnology公司全新推出了臺式高精度濺射與熱蒸發系統——nanoPVD ST15A。該系統可以集成金屬/絕緣體濺射、金屬熱蒸發、有機物蒸發功能，在同一臺設備中可以實現多種制備手段的組合，將薄膜制備帶入了新的高度。有別于傳統臺式系統僅用于制備電極等簡單用途，nanoPVD ST15A系統是真正的學術研究級設備，可以制備多種高質量的薄膜樣品。體統通過7英寸觸摸屏控制，自動化程度高，各種制備方式可以自由切換。用戶可以通過靈活的制備手段在在同一臺設備中制備不同的薄膜或者是復合薄膜。

nanoPVD ST15A外觀圖

設備技術特點

? 臺式設備配置靈活

? 磁控濺射、熱蒸發、有機物蒸發

? 三種制備手段可靈活組合

? 可制備金屬、有機物、電介質薄膜

? 多達3個流量計控制過程氣體

? 高精度自動氣壓控制選件

? 全自動觸屏操作系統

? 基片大至4英寸

? 可選基片加熱

? 本底真空<5 × 10^-7 mbar

? 可選共濺射（蒸發）功能

? 可選晶振膜厚標定功能

? 定義保存多個制備程序

? 全面的安全性設計

? 超凈間兼容

? 穩定的性能

左：nanoPVD ST15A 雙蒸發源與磁控濺射組合，右：系統的樣品臺與擋板

背景介紹

     Moorfield Nanotechnology是英國材料科學領域高性能儀器研發公司，成立25年來專注于高質量的薄膜生長與加工技術，擁有雄厚的技術實力，推出的多種高性能設備受到科研與工業領域的廣泛好評。Moorfield公司近十年來與曼徹斯特大學諾獎技術團隊緊密合作，推出的臺式高精度薄膜制備與加工系列產品由于其體積小巧、性能優異、易于操作更是受到很多科研單位的贊譽。這些設備已經進入了歐洲多所科研院所的實驗室，諸如曼徹斯特大學、劍橋大學、帝國理工學院、諾森比亞大學、巴斯大學、?？巳卮髮W、倫敦瑪麗*王大學、哈德斯菲爾德大學、萊頓大學、亞森工業大學、西班牙光子科學研究所、英國國家物理實驗室等單位都是Moorfield Nanotechnology的用戶和長期合作者。諸多的用戶與合作者讓產品的性能和設計理念得到了高速發展，并邁入全球化的進程。

     Quantum Design中國子公司與Moorfield Nanotechnology正式合作，作為中國的代理和戰略合作伙伴，為中國用戶提供高性能的設備與優質的服務。除了臺式設備之外我們還提供多種大型設備和定制服務。目前國內已有包括清華大學、西湖大學、大連理工大學、廣東工業大學、中科院等多個單位采購了不同型號的Moorfield高性能薄膜制備與加工設備。

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1、臺式高精度薄膜制備與加工系統：https://www.chem17.com/st166724/product_34660266.html